賽の目切断というと料理なんかでサイコロ状に刻むようなイメージだが、ここではアルミナ基板は薄いので四角く切断するということにしている。
図面は以上の通り。全方向が切断されていないと全ての四角が分離しないので、直線を一本切るのに比べればかなり難しい。
実行してみると大抵は切断されるが注意すべき点がいくつかある。
1.ちゃんとした治具で固定しないと、切断したものがエアブローで吹っ飛ぶ
2.ちゃんとした治具で固定しないと、切断しきる端面でチッピングが発生する
3.加工が基板の表面から始まる場合、加工が始まるきっかけにならないため、加工されないことがある。加工の開始場所は基板の外からでないといけない。
などである。
フルカット実験で良かった条件を用いて切断した結果は以下のようになった。(レーザーが入った面の角の顕微鏡写真)
t=0.2アルミナ基板
t=0.32アルミナ基板
t=0.635アルミナ基板