NTCセラミック(Negative Temperature Coefficient ceramics)とは温度によって電気抵抗特性が変化する素材で、温度を測定するセンサとして利用されている。ここで加工するワークの組成は、Mn(マンガン)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)系酸化物焼結体。
グレーの研磨された焼成板。
表面を顕微鏡で拡大。
材質としては脆く、レーザーの熱によってひび割れてしまうので、なるべく熱影響を与えないように工夫する必要があります。以下は厚さ0.6mmのNTCセラミックに500μm程度の穴あけをした結果です。
レーザー加工側。材質が脆いため、淵にチッピングが発生している。
レーザー抜け側。どろっと溶けやすく、淵に溶けたものが少しくっついている。
加工条件によっては溶けたものが開けた穴の下部にツララのように固まってしまう。