ファイバーレーザー - LTCCスクライブ加工
LTCCとは低温同時焼成セラミックス「Low Temperture Co-fired Ceramics」のことで、アルミナにガラス成分を混ぜて低い融点で焼成できるようにしたセラミック素材。アルミナとガラス成分だけの配合だと基板が白色でファイバーレーザーが反射されやすく、加工し難い素材であるが、電気的特性を持たせるために金属酸化物を配合したものはクリーム色だったり、灰色だったりと色が付いており、ファイバーレーザーでも吸収されやすく、安定した加工が可能になる。
◆LTCCスクライブ加工
基板色は濃いグレー。1つの穴径は40μmくらい。
割段した断面。穴径が小さくて深いため、割段精度は高そう。
割段した表面。ガラス成分が溶け出して飛び散っている。LTCCの場合は基板表面に電極があったりするので、この飛び散りがなるべく少ない条件を探す必要がある。