ファイバーレーザー - 窒化ケイ素微細加工
厚さ0.32mmの窒化ケイ素基板を細かく加工した結果です。光学系は固定光学系。
全体像、十円玉と大きさ比較。窒化ケイ素は熱に強くて硬いので、細い部分を残しても割れませんでした。ファイバーレーザーの吸収率も良く、加工しやすいです。
同様の加工をアルミナで行なうと、熱影響で粉々になってしまいました。
厚さ0.32mmの窒化ケイ素基板を細かく加工した結果です。光学系は固定光学系。
全体像、十円玉と大きさ比較。窒化ケイ素は熱に強くて硬いので、細い部分を残しても割れませんでした。ファイバーレーザーの吸収率も良く、加工しやすいです。
同様の加工をアルミナで行なうと、熱影響で粉々になってしまいました。