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UV355nmレーザー - 炭化ケイ素溝堀り

炭化ケイ素(SiC)とは、同周期上の炭素(C)とケイ素(Si)の1:1結合結晶。ダイヤモンドとシリコンの性質を併せ持つような物質であり、自然界では隕石に存在する。これの研磨した表面を、UVレーザー(波長355nm)で溝掘りをする。光学系はガルバノ光学系。




◆炭化ケイ素溝堀り


炭化ケイ素溝堀り1
溝を上から見る。形状はけっこう良さそう。

炭化ケイ素溝堀り2
三次元で見ると、底はなだらかに形良く掘られている。

炭化ケイ素溝堀り3
高さを色分けしてみると深さ方向の安定感が分かる。



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